장점
- 열 오프셋을 최소화하기 위한 비접촉 측정
- OEM 장비에 쉽게 설치 가능
- 다양한 에칭 및 웨이퍼 제조 공정에 대해 높은 정확도와 극한의 온도 제어를 달성합니다.
- OEM에 맞게 프로브를 사용자 정의하기 위해 숙련된 애플리케이션 엔지니어의 지원을 받으세요.
사양
| 작동 온도 범위(°C): | 5~60 |
|---|---|
| 채널 수: | 최대 5개 |
| 정확도: | ± 0.5 °C |
| 소음(°C): | ≤ 0.05 °C |
| 측정 범위: | -200~450 |
| 통신 인터페이스: | ECAT, 4~20mA 또는 0~10V |
| 판독 속도(Hz): | 1에서 50까지 |
| 소프트웨어: | 트루템프+ |
기술문서
데이터 시트 PDF 290 KB 10월 11일, 2024
Luxtron® 광섬유 온도 측정 프로브 및 액세서리 데이터시트 업데이트
데이터 시트 PDF 340 KB 9월 9일, 2025
애플리케이션 노트 PDF 131 KB 6월 15일, 2023
혹독한 MRI 환경에서도 안정적이고 간섭 없는 온도 모니터링: Luxtron® M-1100 광섬유 솔루션 신제품
사례 연구 PDF 260 KB 10월 10일, 2025
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