Cygnus Photonics_ π2-cygni

< 올인원 구조 >
효율적인 광원, 수동 냉각 및 통합 퍼지 시스템은 작동에 필요한 모든 것이 시스템 자체에 포함되어 있음을 의미합니다. 포함된 12 Vac 전원 어댑터를 연결하고 1/4" 빠른 ​​연결 피팅을 사용하여 퍼지 가스 소스에 연결하기만 하면 π 2 -Cygni를 사용할 수 있습니다.

< 완벽하고 유연한 VUV 노출 시스템 >
모듈식 설계 방식을 사용하는 π 2 -Cygni는 다음과 같은 "즉시 사용 가능한" 기능을 제공합니다.

통합된 불활성 가스 퍼징을 갖춘 범용 대면적 VUV 홍수 노출
노출 챔버 및 마스크 홀더가 포함된 기본 사진 프로세스
하드 콘택트 포토 마스크 처리 모듈이 포함된 고해상도 포토리소그래피
표준화된 장착 시스템을 사용하여 기존 시스템과 통합

< 특징 >
차세대 VUV 광원: 172nm
동급 최고의 출력 강도
탁월한 빔 균일성: 사용 가능한 조리개 전체에서 3%
긴 램프 수명: 최대 30,000회 노출
거의 순간적인 램프 켜기
컴팩트하고 견고하며 휴대성이 뛰어납니다.
표준화된 액세서리 장착 시스템: 하나의 광원, 다양한 응용 분야
직관적인 디자인으로 모든 사용자의 교육 요구 사항 감소
환경 친화적인 운영 및 처리

VUV. 새로운 처리 체제
기존 172nm 소스의 낮은 출력 전력으로 인해 연구 및 생산 환경 모두에서 이 파장의 광범위한 사용 및 적용이 방지되었습니다. π-Cygni는 이 장벽을 극복하고 172 nm의 진정한 힘을 보여주고 있습니다 - 새로운 화학 물질, 반응 체계 및 처리 기술을 추진합니다. 자외선은 더 이상 포토리소그래피와 경화만을 위한 것이 아닙니다!

힘을 생각하는 새로운 방법
UV 아크 램프는 높은 평균 전력을 제공합니다. 엑시머 UV 소스는 높은 광자 플럭스를 제공합니다. π-Cygni는 활성 또는 외부 냉각 없이 높은 평균 전력과 높은 광자 플럭스를 모두 제공합니다. 고출력과 고광자속의 이 독특한 조합은 손바닥에 쏙 들어가는 패키지에 사용되지만 다른 광원으로는 달성할 수 없는 대면적 반응과 프로세스를 유도합니다.

램프 기술의 새로운 폼팩터
각 π-Cygni의 심장은 평면 미세 공동 방전 램프입니다. 광역 방출은 기존의 아크 방전 램프에 비해 우수한 균일성을 제공하는 동시에 복잡한 집광, 시준 및 균질화 광학 장치의 필요성을 제거합니다.

자외선이 녹색으로 변했습니다
π-Cygni 이전의 자외선 생산은 일반적으로 독성 물질, 낮은 변환 효율 및 높은 장비 비용을 의미했습니다. π-Cygni는 환경 친화적이고 에너지 효율적인 솔루션을 제공함으로써 이러한 장벽을 무너뜨립니다. π-Cygni의 제조 및 건설에는 독성 물질이 사용되지 않으며, 생산 공정에 π-Cygni를 사용하면 화학 폐기물 흐름 및 물 소비를 줄일 수 있습니다. 다른 172nm 소스의 비용의 일부로 모두 가능합니다.