- 중요 프로세스의 온도 측정 정확도를 향상시킵니다.
- 반복성을 향상시키고 변동을 최소화합니다.
- 생산성, 수율 및 처리량이 증가합니다.
- 여러 챔버와 기판 재료에 걸쳐 안정성과 신뢰성을 높입니다.
사양
| FOV(최소 스팟 크기)(mm): | (2~8) |
|---|---|
| 인터페이스/출력(mA): | 다양한 옵션이 제공됩니다. 데이터시트를 참조하세요. |
| 정확도: | ±1.5°C |
| 무게(kg): | 1.54 |
| 파장 반복성(pm): | ±0.1 |
부품번호
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기술문서
데이터 시트 PDF 430 KB 6월 15일, 2023
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기술동영상
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