- 중요 프로세스의 온도 측정 정확도를 향상시킵니다.
- 반복성을 향상시키고 변동을 최소화합니다.
- 생산성, 수율 및 처리량이 증가합니다.
- 여러 챔버와 기판 재료에 걸쳐 안정성과 신뢰성을 높입니다.
- 고유한 응용 프로그램의 기능적 및 기계적 요구 사항을 충족하도록 맞춤화합니다.
사양
| 작동 온도 범위(°C): | 50에서 3500까지 |
|---|---|
| 스펙트럼 범위(µm): | 자외선 2300까지 |
| 인터페이스/출력(mA): | RS-232, RS-422/485 및 이더넷 |
| 정확도: | ±1.5°C |
| 무게(kg): | 2 |
| 파장 반복성(pm): | ±0.1 |
부품번호
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기술문서
데이터 시트 PDF 198 KB 6월 15일, 2023
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기술동영상
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