장점
- 열 오프셋을 최소화하기 위한 접촉 측정
- 간편한 설치 및 통합을 위한 축소된 폼 팩터
- 다양한 에칭 및 웨이퍼 제조 공정을 위한 높은 정확도와 극한 온도 제어
- OEM에 맞게 프로브를 맞춤화하기 위한 숙련된 애플리케이션 엔지니어의 지원
사양
| 작동 온도 범위(°C): | 0~60 |
|---|---|
| 채널 수: | 최대 5개 |
| 정확도: | ± 0.15 °C |
| 소음(°C): | 0.1 °C |
| 측정 범위: | -200~450 |
| 통신 인터페이스: | 이더캣 |
| 판독 속도(Hz): | 2~50개 |
| 센서 개수: | 최대 5개 |